{"id":5048,"date":"2026-09-01T12:57:54","date_gmt":"2026-09-01T12:57:54","guid":{"rendered":"https:\/\/rqmem.recherche.usherbrooke.ca\/?p=5048"},"modified":"2026-09-01T12:57:54","modified_gmt":"2026-09-01T12:57:54","slug":"stem-in-sem","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/rqmem.recherche.usherbrooke.ca\/en\/stem-in-sem\/","title":{"rendered":"STEM-in-SEM : Microscopie \u00e9lectronique \u00e0 balayage par transmission \u00e0 faible tension d’acc\u00e9l\u00e9ration"},"content":{"rendered":"
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STEM-in-SEM : Microscopie \u00e9lectronique \u00e0 balayage par transmission \u00e0 faible tension d’acc\u00e9l\u00e9ration<\/h2>\n\n\n
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\n\t\tPubli\u00e9 le 1 septembre 2026\t<\/p>\n\n\n\n

Pourquoi le bas voltage pour le STEM?<\/h2>\n\n<\/div>\n\n\n
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\"Simulations<\/figure>\n\n\n\n

Figure 1. Simulations de Monte Carlo r\u00e9alis\u00e9es avec le logiciel MCXRay (Michaux, 2012) <\/p>\n\n<\/div>\n\n\n

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En microscopie \u00e0 balayage par transmission (STEM), les fortes tensions\u00a0d\u2019acc\u00e9l\u00e9ration\u00a0sont utilis\u00e9es historiquement surtout pour\u00a0prendre avantage du pouvoir r\u00e9solutif qui augmente\u00a0\u00e0 plus forte tension\u00a0par diminution de la limite de diffraction impos\u00e9e par le crit\u00e8re de Rayleigh. Mais il faut se rappeler que les premiers STEM\u00a0utilisaient une tension bien plus faible, de l\u2019ordre de 25 \u00e0 50 kV\u00a0(Pennycook, 2011).\u00a0En revanche, les STEM manufactur\u00e9s de nos jours\u00a0sont de plus en plus dispendieux\u00a0et ne sont pas \u00e0 la port\u00e9e de toutes les bourses.\u00a0Toutefois, le\u00a0microscope\u00a0\u00e9lectronique\u00a0\u00e0 balayage\u00a0(MEB), qui fonctionne \u00e0 des\u00a0tensions inf\u00e9rieures \u00e0 30 kV, est beaucoup plus abordable\u00a0en termes de\u00a0prix et plus\u00a0facile \u00e0 int\u00e9grer dans un laboratoire \u00e0 cause de\u00a0son\u00a0encombrement\u00a0moindre\u00a0et de son utilisation plus\u00a0simple.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

L\u2019av\u00e8nement des MEB\u00a0\u00e0 \u00e9mission de\u00a0champ\u00a0(FEG)\u00a0a\u00a0permis,\u00a0depuis les derni\u00e8res d\u00e9cennies, d\u2019am\u00e9liorer consid\u00e9rablement leurs performances en terme de r\u00e9solution d\u2019image d\u00fb essentiellement \u00e0 la r\u00e9duction des aberrations optiques et \u00e0\u00a0l\u2019am\u00e9lioration des d\u00e9tecteurs d\u2019\u00e9lectrons et de rayons X. Merli\u00a0et Morandi furent\u00a0les\u00a0premiers,\u00a0dans les ann\u00e9es 1990s-2000s,\u00a0\u00e0 rapporter la possibilit\u00e9 d\u2019appliquer\u00a0le STEM dans un microscope \u00e0 balayage de type FEG et \u00e0 d\u00e9montrer\u00a0les possibilit\u00e9s\u00a0de faire\u00a0de\u00a0l\u2019imagerie en\u00a0champ\u00a0clair et\u00a0champ\u00a0sombre sur des \u00e9chantillons minces et\u00a0\u00e0\u00a0approcher une r\u00e9solution\u00a0de l\u2019ordre du nanom\u00e8tre (Merli, 2003,\u00a0Morandi,\u00a02007).<\/p>\n\n<\/div>\n\n<\/div>\n\n\n

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Lorsque l\u2019on compare des simulations de Monte Carlo r\u00e9alis\u00e9es avec le logiciel MCXRay\u00a0(Michaux, 2012)\u00a0sur\u00a0une lame d\u2019aluminium de 50 nm sur\u00a0la figure 1, on constate que le pinceau tr\u00e8s fin obtenu \u00e0 200 kV s\u2019\u00e9largit \u00e0 30 kV, suivant un\u00a0\u00e9vasement\u00a0variant\u00a0en fonction\u00a0de\u00a0t3\/2<\/sup><\/em>,\u00a0t<\/em>\u00a0\u00e9tant l\u2019\u00e9paisseur de l\u2019\u00e9chantillon analys\u00e9.\u00a0Un faible \u00e9largissement est\u00a0crucial\u00a0pour\u00a0garder une bonne r\u00e9solution d\u2019image en\u00a0STEM.\u00a0Toutefois, ce fin faisceau ne peut \u00eatre produit qu\u2019en limitant\u00a0les interactions des \u00e9lectrons incidents avec les\u00a0atomes de l\u2019\u00e9chantillon. <\/p>\n\n\n\n

On voit clairement qu\u2019\u00e0 30 kV, les \u00e9lectrons sont plus d\u00e9vi\u00e9s qu\u2019\u00e0 200 kV tout en limitant l\u2019\u00e9largissement du faisceau.\u00a0Ce nombre plus grand de collisions (\u00e9lastiques et in\u00e9lastiques)\u00a0g\u00e9n\u00e8re une plus grande quantit\u00e9 de signaux, principalement les \u00e9lectrons secondaire, r\u00e9trodiffus\u00e9s,\u00a0transmis \u00e0 forts angles ainsi que plus de rayons X utilis\u00e9s pour\u00a0produire des cartographies chimiques.\u00a0Ceci a pour cons\u00e9quence\u00a0d\u2019augmenter les contrastes observ\u00e9s en imagerie ainsi\u00a0que d\u2019augmenter le signal disponible pour la spectroscopie des rayons X par EDS (Energy\u00a0Dispersive\u00a0Spectrometer)\u00a0et ainsi obtenir des\u00a0analyses de composition chimique \u00e0 plus faible signal-sur-bruit que dans le TEM\/STEM \u00e0 200 kV.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

On voit bien, en revanche, que l\u2019\u00e9vasement du faisceau est plus significatif \u00e0 30 kV mais les mesures r\u00e9alis\u00e9es sur un alliage d\u2019Al-Li-Cu de 80 nm environ d\u2019\u00e9paisseur \u00e0 30 kV\u00a0(Fig.2)\u00a0montrent que\u00a0l\u2019effet est relativement faible pour des \u00e9paisseurs inf\u00e9rieures \u00e0 100 nm et que l\u2019analyse des rayon X (ici sur la raie Ka du cuivre)\u00a0souffre de peu d\u2019\u00e9largissement par rapport au signal en\u00a0champ\u00a0clair qui donne la meilleure r\u00e9solution\u00a0d\u2019image.\u00a0La figure\u00a01 montre \u00e9galement un comparatif avec une simulation r\u00e9alis\u00e9e \u00e0 1 kV, qui produit aussi un faible volume d\u2019interaction\u00a0mais ne permet pas\u00a0la m\u00eame latitude en termes d\u2019analyse de composition et de structure cristalline\u00a0par EDS ou EBSD (Electron BackScatter\u00a0Diffraction).\u00a0<\/p>\n\n<\/div>\n\n\n

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\"<\/figure>\n\n\n\n

Figure 2. Mesures r\u00e9alis\u00e9es sur un alliage d’Al-Li-Cu de 80 nm environ d’\u00e9paisseur<\/p>\n\n<\/div>\n\n<\/div>\n\n\n\n

Le STEM bas voltage en action !<\/h2>\n\n\n
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\"\"<\/figure>\n\n\n\n

Figure 3. Nanotubes de carbone recouverts de nanoparticules de Ni-Pt (gracieuset\u00e9s des professeur Ysma\u00ebl Verde-Gomez, de l’Institut de Technologie de Cancun, Mexique et Emily Ringe de l’Universit\u00e9 de Cambridge, UK<\/p>\n\n<\/div>\n\n\n

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En se basant sur la physique d\u00e9crite plus haut ainsi que sur\u00a0des MEB \u00e0 t\u00eates froide (CFE-SEM<\/a>) qui produisent\u00a0les plus petites tailles de sondes \u00e9lectroniques \u00e0 30 kV ainsi que le minimum d\u2019aberrations, on peut produire des images qui comp\u00e9titionnent facilement avec le\u00a0microscope \u00e0 transmission \u00e0 plus forte tension d\u2019acc\u00e9l\u00e9ration.\u00a0On peut rapidement\u00a0produire des images\u00a0champ\u00a0clair et champ sombre de nanoparticules avec une r\u00e9solution sub-nanom\u00e9trique,\u00a0comme\u00a0par exemple\u00a0les nanotubes de carbone recouverts de nanoparticules de Ni-Pt\u00a0en Figure 3\u00a0(gracieuset\u00e9 du professeur\u00a0Ysma\u00ebl Verde-Gomez, de L\u2019Institut de Technologie de Cancun, Mexique). On peut aussi facilement observer les structures internes\u00a0en bambou\u00a0du nanotube qui\u00a0b\u00e9n\u00e9ficient grandement de la diffusion plus grande \u00e0 30 kV\u00a0dans le carbone\u00a0dans ce cas.\u00a0On peut observer sur ce type d\u2019\u00e9chantillon des particules jusqu\u2019\u00e0 0.5 nm\u202f!\u00a0Dans des alliages m\u00e9talliques, tel le Ti-6Al-4V montr\u00e9 lui aussi en Figure 3,\u00a0on peut\u00a0imager\u00a0les r\u00e9seaux de dislocation,\u00a0g\u00e9n\u00e9r\u00e9s ici par\u00a0l\u2019utilisation de l\u2019impression 3D,\u00a0en utilisant une orientation du cristal bien d\u00e9finie de fa\u00e7on similaire au microscope \u00e0 transmission.\u00a0Enfin, avec les appareils plus r\u00e9cents\u00a0de pointe comme le SU-9000 d\u2019Hitachi<\/a>, on peut maintenant imager\u00a0la structure atomique des \u00e9chantillons en prenant avantage des interf\u00e9rences des\u00a0ondes \u00e9lectroniques apr\u00e8s\u00a0interactions\u00a0avec le cristal de l\u2019\u00e9chantillon,\u00a0apr\u00e8s diffraction,\u00a0pour produire\u00a0des images\u00a0\u00e0 l\u2019\u00e9chelle\u00a0atomique. L\u2019exemple en haut de la Figure 3\u00a0provient d\u2019une nanoparticule de magn\u00e9sium\u00a0plasmonique\u00a0(gracieuset\u00e9 de la professeur\u00a0Emily Ringe, de l\u2019Universit\u00e9 de Cambridge, UK)\u00a0o\u00f9 l\u2019on peut observer l\u2019image en\u00a0champ\u00a0clair des colonnes atomiques et dans l\u2019insert le clich\u00e9 de\u00a0diffraction par faisceau convergent correspondant.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

Le gain en signal X\u00a0est important \u00e0 30 kV en comparaison de 200 kV, et encore plus\u00a0de 300 kV. Celui-ci permet d\u2019atteindre des niveaux de comptage de plusieurs dizaines de milliers de rayons X par seconde avec un seul d\u00e9tecteur EDS. En comparaison, le STEM 200 kV en fournira quelques\u00a0milliers\u00a0sur un m\u00eame \u00e9chantillon. Cela permet de produire des cartographies \u00e9l\u00e9mentaires de grande qualit\u00e9, \u00e0 bas signal-sur-bruit, tout cela dans un temps\u00a0bien plus faible. On voit sur les deux exemples fournis en Figure 4 des images pleines r\u00e9solution (c\u2019est-\u00e0-dire avec une r\u00e9solution identique \u00e0 l\u2019image\u00a0champ\u00a0clair, donc\u00a0sans r\u00e9duction d\u2019\u00e9chelle)\u00a0obtenues en 10 \u00e0 20 minutes avec un taux de\u00a0comptage\u00a0d\u2019environ\u00a020 000 coups\/s. L\u2019exemple du haut de la figure correspond \u00e0 un nanotube seul couvert de nanoparticules de TiO2<\/sub>\u00a0qui sont facilement identifiables sur l\u2019image EDS obtenue par superposition des cartographies \u00e9l\u00e9mentaires du Ti\u00a0(rouge) et du carbone (bleu). On peut aussi voir par transmission les grains de fer qui se trouvent au centre du nanotube (ici en vert). Le second exemple montre un alliage complexe d\u2019aluminium contenant du lithium et du cuivre mais \u00e9galement des \u00e9l\u00e9ments d\u2019alliage comme le Mg, le Zn, le Zr\u00a0ou encore le Ti et le Fe.\u00a0Tous ces \u00e9l\u00e9ments sont facilement et rapidement identifi\u00e9s, m\u00eame ceux qui sont pr\u00e9sents en traces comme le Ti, le Fe et le Zn (Guinel, 2014).\u00a0<\/p>\n\n<\/div>\n\n<\/div>\n\n\n

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La spectroscopie de pertes d\u2019\u00e9nergie\u00a0(STEM-EELS)\u00a0peut\u00a0\u00e9galement \u00eatre utilis\u00e9e pour\u00a0analyser la composition d\u2019un \u00e9chantillon mince en plus de\u00a0fournir\u00a0des informations pertinentes sur la configuration atomique et \u00e9lectronique des\u00a0mat\u00e9riaux. Jusqu\u2019\u00e0 r\u00e9cemment, cette technique\u00a0n\u2019\u00e9tait disponible que dans les STEM \u00e0 haut voltage mais\u00a0cela a chang\u00e9 il y a une dizaine d\u2019ann\u00e9e avec l\u2019introduction du premier spectrom\u00e8tre EELS\u00a0commercial dans un MEB, le SU-9000\u00a0d\u2019Hitachi<\/a>, dont le professeur Gauvin\u00a0\u00e0 fait l\u2019acquisition en 2017 \u00e0 l\u2019Universit\u00e9 McGill. Ce spectrom\u00e8tre, situ\u00e9 en dessous de la chaine\u00a0d\u2019acquisition des signaux transmis\u00a0(voir la Fig.5),\u00a0s\u00e9pare les \u00e9lectrons\u00a0collect\u00e9s\u00a0au\u00a0travers d\u2019un diaphragme d\u2019angle\u00a0d\u00e9fini par l\u2019utilisation d\u2019un prisme magn\u00e9tique\u00a0qui\u00a0d\u00e9vie\u00a0les \u00e9lectrons en fonction de leur \u00e9nergie. Ceci\u00a0permet d\u2019obtenir un spectre\u00a0qui donne la quantit\u00e9\u00a0d\u2019\u00e9lectrons compt\u00e9s en fonction de la\u00a0perte d\u2019\u00e9nergie en\u00a0\u00e9lectron-volt\u00a0(eV)\u00a0subie par le faisceau en interagissant avec\u00a0les constituants\u00a0du mat\u00e9riau. Chaque perte d\u2019\u00e9nergie peut \u00eatre reli\u00e9e \u00e0 un \u00e9l\u00e9ment\u00a0chimique\u00a0distinct ou bien \u00e0 tout autre ph\u00e9nom\u00e8ne qui g\u00e9n\u00e8re des pertes d\u2019\u00e9nergies par collision in\u00e9lastiques (plasmons, phonons, bandgap par exemple).\u00a0<\/p>\n\n\n\n

La Figure\u00a05 montre un exemple de\u00a0spectre EELS obtenu sur une particule nanom\u00e9trique de TiO2<\/sub>\u00a0\u00e0 forte perte d\u2019\u00e9nergie pour observer le seuil d\u2019ionisation du titane (autour de\u00a0450 eV). On\u00a0voit sur cette figure trois\u00a0acquisitions\u00a0en s\u00e9ries sur la m\u00eame particule qui montrent un changement de forme du spectre apr\u00e8s le seuil L du titane. Ceci\u00a0d\u00e9montre ici un changement d\u2019\u00e9tat d\u2019oxydation, partant de la forme Ti4+<\/sup>, qui correspond au TiO2<\/sub>, jusqu\u2019\u00e0 la forme\u00a0Ti2+<\/sup>, qui elle correspond au TiO. Il a \u00e9t\u00e9 d\u00e9montr\u00e9 que cette transition peut\u00a0\u00eatre initier par l\u2019endommagement d\u00fb aux \u00e9lectrons de la sonde \u00e9lectronique du MEB.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

Le second exemple en bas \u00e0\u00a0gauche\u00a0de la Fig.5\u00a0correspond \u00e0 une image en \u00e9lectrons secondaire\u00a0obtenue \u00e0 30 kV (\u00e0 gauche) o\u00f9\u00a0l\u2019on voit clairement des nanoparticules\u00a0de Ru de quelques nanom\u00e8tres recouvrir une particule d\u2019aluminium plus grosse. L\u2019image correspondante \u00e0 droite provient du\u00a0spectrom\u00e8tre\u00a0EELS o\u00f9\u00a0seules les pertes\u00a0d\u2019\u00e9nergie\u00a0correspondantes\u00a0aux plasmons\u00a0de surface de l\u2019aluminium\u00a0(delaGarza, 2021)\u00a0ont\u00a0\u00e9t\u00e9\u00a0compt\u00e9s \u00e0 chaque pixel de l\u2019image. Cette image montre donc l\u2019\u00e9tendue\u00a0du\u00a0plasmon\u00a0g\u00e9n\u00e9r\u00e9 par l\u2019aluminium sous excitation \u00e9lectronique\u00a0et l\u2019on voit bien que les nanoparticules de Ru baignent dans\u00a0le\u00a0halo\u00a0brillant ainsi g\u00e9n\u00e9r\u00e9. Cette exp\u00e9rience monte qu\u2019en activant ce\u00a0plasmon\u00a0par une lumi\u00e8re correspondant\u00a0\u00e0\u00a0sa\u00a0longueur d\u2019onde, la chaleur n\u00e9cessaire \u00e0 l\u2019activation de la\u00a0r\u00e9action\u00a0catalytique\u00a0du ruth\u00e9nium peut \u00eatre\u00a0promue\u00a0et ainsi r\u00e9duire le recours \u00e0 d\u2019autres sources de chaleur\u00a0polluantes pour la chimie verte.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

Enfin,\u00a0l\u2019image montr\u00e9e en bas \u00e0\u00a0droite\u00a0de la Figure 5\u00a0correspond \u00e0 une cartographie du lithium \u00e9l\u00e9mentaire dans un alliage Al-Li-Cu,\u00a0identique \u00e0 celui\u00a0utilis\u00e9 dans la Figure 4,\u00a0par STEM-EELS \u00e0 30 kV. Dans cette image, tous les pixels plus ou moins blancs correspondent \u00e0 un enrichissement en Li\u00a0dans les pr\u00e9cipit\u00e9s de l\u2019alliage. Pour obtenir cette image,\u00a0seules les pertes\u00a0d\u2019\u00e9nergies\u00a0correspondantes au seuil du lithium K (54 eV) ont \u00e9t\u00e9 collect\u00e9es\u00a0gr\u00e2ce \u00e0 la technique dite\u00a0des trois fen\u00eatres\u00a0(Hofer, 1997).\u00a0On voit bien ici que presque tous les pr\u00e9cipit\u00e9s contiennent du lithium dans cet alliage, m\u00eame la matrice qui en contient en solution solide, sauf les pr\u00e9cipit\u00e9s\u00a0\u03b2\u2019<\/em>\u00a0(Al3<\/sub>Zr) qui n\u2019en contiennent pas du tout.\u00a0<\/p>\n\n<\/div>\n\n\n

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\"\"<\/figure>\n\n\n\n

Figure 4. Images pleines r\u00e9solution obtenues en 10 \u00e0 20 minutes avec un taux de\u00a0comptage\u00a0d\u2019environ\u00a020 000 coups\/s<\/p>\n\n<\/div>\n\n<\/div>\n\n\n\n

\"\"<\/figure>\n\n\n\n

Figure 5. Spectrom\u00e8tre s\u00e9parant les \u00e9lectrons collect\u00e9s au travers d’un diaphragme d’angle d\u00e9fini par l’utilisation d’un prisme magn\u00e9tique qui d\u00e9vie les \u00e9lectrons en fonction de leur \u00e9nergie<\/p>\n\n\n

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\"Portrait<\/figure>\n\n<\/div>\n\n\n
\n\t\n\n

Nicolas Brodusch est actuellement Assistant de Recherche \u00e0 l\u2019Universit\u00e9 McGill et est affili\u00e9 au groupe de recherche sur la microscopie \u00e9lectronique\u00a0de McGill (McGill Electron\u00a0Microscopy\u00a0Research\u00a0Group, MEMRG,\u00a0www.memrg.com<\/em><\/a>),\u00a0dirig\u00e9 par le professeur Raynald Gauvin.\u00a0En plus d\u2019assurer la gestion op\u00e9rationnelle des \u00e9quipements et la supervision des projets de recherche des \u00e9tudiants du groupe en lien avec le professeur, il a \u00e0\u00a0c\u0153ur\u00a0de\u00a0d\u00e9velopper des techniques innovantes, autant dans le domaine de la pr\u00e9paration d\u2019\u00e9chantillons que dans la caract\u00e9risation de mat\u00e9riaux divers\u00a0par microscopie \u00e9lectronique \u00e0 balayage.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

Nicolas a obtenu un Dipl\u00f4me Universitaire de Technologie\u00a0(DUT), option Mesures-Physiques, \u00e0 l\u2019universit\u00e9 Paris XI \u00e0 Orsay, France, en 1997.\u00a0Apr\u00e8s avoir perfectionn\u00e9 ses techniques d\u2019analyses et de recherches en tant que technicien de laboratoire dans divers laboratoires, il a obtenu un Master\u00a0en Science et G\u00e9nie des Mat\u00e9riaux par validation des acquis professionnels \u00e0 l\u2019universit\u00e9 Paris-Saclay, Orsay, France, en 2018.\u00a0Durant\u00a0les\u00a0seize\u00a0ann\u00e9es\u00a0qu\u2019il a pass\u00e9es\u00a0au MEMRG, Nicolas a eu \u00e0\u00a0coeur\u00a0de pousser les limites des microscopes \u00e9lectroniques \u00e0 balayage (MEB)\u00a0sous sa supervision\u00a0afin d\u2019am\u00e9liorer\u00a0la r\u00e9solution en imagerie\u00a0et la qualit\u00e9 d\u2019image mais aussi\u00a0pour\u00a0utiliser les d\u00e9tecteurs\u00a0\u00e9quipant\u00a0ces instruments \u00e0 leur plein potentiel. Ces travaux ont \u00e9t\u00e9 reconnus\u00a0internationalement\u00a0par le biais de nombreuses publications scientifiques\u00a0ainsi que par l\u2019attribution d\u2019un prix \u00e0 la conf\u00e9rence\u00a0Microscopy\u00a0&\u00a0Microanalysis\u00a0\u00e0 Hartford, CT, en 2014\u00a0pour l\u2019article\u00a0\u201cDark-field\u00a0imaging\u00a0of\u00a0thin\u00a0specimens\u00a0with\u00a0a\u00a0forescatter\u00a0electron\u00a0detector at\u00a0low\u00a0accelerating\u00a0voltage\u201d, et\u00a0plusieurs invitations\u00a0en tant\u00a0que pr\u00e9sentateur\u00a0invit\u00e9\u00a0\u00e0 plusieurs conf\u00e9rences pendant les derni\u00e8res ann\u00e9es.\u00a0<\/p>\n\n<\/div>\n\n<\/div>\n\n\n

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R\u00e9f\u00e9rences<\/h4>\n\n\n\n

Guinel, M. J. F., Brodusch, N., Sha, G., Shandiz, M. A., Demers, H., Trudeau, M., Ringer, S. P. and Gauvin, R. (2014), ‘Microscopy and microanalysis of complex nanosized strengthening precipitates in new generation commercial Al-Cu-Li alloys’,\u00a0Journal of Microscopy<\/em>\u00a0255<\/strong>(3), 128–137.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

Michaud, P., Gauvin, R., Demers, H., Brodusch, N. and Guinel, M. J. (2012), ‘Simulated X-ray Spectra and X-ray Maps: Evaluation of Models Used in MC X-Ray Monte Carlo Simulation Program and Comparison with Experimental Data’,\u00a0Microscopy and Microanalysis<\/em>\u00a018<\/strong>(S2), 1022–1023.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

Merli, P. G., Migliori, A., Morandi, V. and Tundo, S. (2003), ‘Low Energy STEM of Multi-Layers and Dopant Profiles’,\u00a0Microscopy and Microanalysis<\/em>\u00a09<\/strong>(S02), 142–143.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

Morandi, V., Merli, P. G. and Quaglino, D. (2007), ‘Scanning electron microscopy of thinned specimens: From multilayers to biological samples’,\u00a0Applied physics letters<\/em>\u00a090<\/strong>(16), 163113–163113.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

Pennycook, S. J. and Nellist, P. D. (2011),\u00a0Scanning transmission electron microscopy: imaging and analysis<\/em>, Springer.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

<\/p>\n\n\n\n

de la Garza, L. C., Brodusch, N., Gauvin, R. and Moores, A. (2021), ‘Plasmon-Enhanced Hydrogenation of 1-Dodecene and Toluene Using Ruthenium-Coated Gold Nanoparticles’,\u00a0ACS Appl. Nano\u00a0Mater.<\/em>.\u00a0<\/p>\n\n\n\n

Hofer, F., Grogger, W., Kothleitner, G. and Warbichler, P. (1997), ‘Quantitative analysis of EFTEM elemental distribution images’, Ultramicroscopy<\/em> 67<\/strong>(1), 83–103. <\/p>\n\n\n\n

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