Nœud :
Fabricant et modèle : ThermoFisher SCIOS 2 Dualbeam FIB-SEM
Site web externe : 3iT matériaux
Personne ressource : Frédéric Voisard
Fait partie du RQMÉM : oui
Adresse : 3000 Bd de l’Université, Sherbrooke, QC J1K 0A5
Versatile et haute performance pour la science des matériaux, l’ingénierie, les analyses d’échec de semiconducteurs et le contrôle de la qualité. Microscope électronique à double faisceau combinant le microscope électronique à balayage et le faisceau d’ion focalisé.
Détecteurs, caméras et spectromètres :
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Électrons secondaires et électrons secondaires filtrés (in lens)
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Électrons rétrodiffusés
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Annulaire en transmission segmentée
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Spectroscopie des rayons-X
Caractéristiques :
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Canon FEG Schottky
Applications :
E-T, surface, topologie, contraste de composition, matériaux minces, cartographie
Performant pour la préparation d’échantillons et la caractérisation sous la surface et en trois dimensions d’une grande variété d’échantillons. Adapté pour des échantillons magnétiques ou non-conducteurs.
Imagerie de haute résolution et fraisage à tension élevée en plus de bonnes performances à voltage faible, permettant la préparation de lamelles de haute qualité pour le microscopie électronique en transmission.
Le détecteur d’électrons rétrodiffusés (BSE) permet l’imagerie de matériaux au meilleur contraste.
Adapté pour la recherche académique, industrielle et gouvernementale.