Publié le 2 décembre 2025
Le 16 octobre 2025 se déroulait l’inauguration de la plateforme de microscopie électronique du nœud de l’Université de Sherbrooke, au 3IT.Matériaux. Plusieurs membres du RQMÉM étaient présents à l’Institut Interdisciplinaire d’Innovation Technologique (3IT) pour le lancement officiel du microscope électronique à balayage à faisceau d’ondes focalisées (FIB) et du microscope électronique en transmission (MÉT).
Ces microscopes, rendus disponibles grâce à la collaboration entre les différents nœuds du Réseau, les universités partenaires, la Fondation Canadienne pour l’Innovation (FCI) et le ministère de l’Économie, de l’Innovation et de l’Énergie, sont accessibles pour tous les membres du RQMÉM afin de favoriser la recherche en matériaux de pointe, former des personnes étudiantes et professionnelles hautement qualifiés et stimuler les collaborations au sein du Réseau et dans la province de Québec.
Les membres présents, incluant des directions et des microscopistes de nœuds, ont assisté à une coupure symbolique du ruban, en direct du microscope électronique en transmission.
La plateforme 3IT.Matériaux a bénéficié de plusieurs millions de dollars de financement pour la construction de 1 000 m2 de surface nette de laboratoires, 300 m2 de surface de bureaux pour le personnel hautement qualifié qui s’y rattache, ainsi qu’un nouveau débarcadère. En plus d’une salle dédiée au MÉT, une pour le FIB et une salle de préparation des échantillons (pour découpe, polissage, électro-polissage ou observation en microscopie optique), de l’espace reste disponible pour de futurs équipements de caractérisation des matériaux.
Le 3IT.Matériaux se positionne maintenant comme un pilier de la recherche en microélectronique, nanotechnologies, matériaux quantiques et avancées, développement de dispositifs et énergie, pour n’en nommer que quelques-uns.
Les microscopes qui y ont été inaugurés rendent plusieurs analyses possibles en imagerie haute résolution, analyse cristallographique et analyse chimique élémentaire et de phase.
Les équipements
Le Microscope électronique à balayage et faisceau d’ions focalisés (MEB/SEM/FIB) permet l’observation de la morphologie de surface, la découpe au faisceau d’ions, la tomographie par découpe de plans en plus d’analyses chimique par EDS. Ce Scios 2 SEM-FIB de ThermoFischer est alimenté par un canon FEG Schottky. Ses détecteurs et spectromètres permettent l’analyse des électrons secondaires, électrons secondaires filtrés et électrons rétrodiffusés en plus de faire la spectroscopie de rayons-X pour une composition ou cartographie des matériaux. Cet appareil permet les micromanipulations telle la découpe à l’échelle de la microstructure ou l’observation sous une surface recouverte ou cachée. Il permet également la fabrication de lames minces transparentes aux électrons pour le MÉT-TEM.
Le Microscope électronique en transmission (MET/TEM), quant à lui, peut être utilisé pour la visualisation des matériaux jusqu’à l’échelle atomique, pour la diffraction d’électrons et la cartographie chimique (par EDS ou EELS). Le Spectra 200 de ThermoFischer est muni d’un Canon Cold-FEG corrigé en aberration sphérique. Il permet d’atteindre une résolution aussi basse que 60 pm. Le porte échantillon permet des analyses in situ allant jusqu’à 1 atm ou 1 000 oC en présence ou non d’un biais électronique imposé par des microélectrodes. Ce porte-échantillon permet donc des observations lors de l’évolution de la micro-nanostructure dans des conditions réactives. Des images peuvent être observées grâce à la caméra 4K Falcon (en mode imagerie ou diffraction), quatre spectromètres EDX entourant l’échantillon, une caméra pour la spectroscopie en perte d’énergie des électrons (K2-GIF-Continuum EELS) et ses détecteurs en transmission segmenté permettant l’imagerie différentielle de contraste (sur fond clair, fond sombre, annulaire ou annulaire à grand angle).
Pour plus d’information sur les équipements disponibles au RQMÉM, consultez notre page d’instrumentation.