Nœud :
Université McGill – McGill Materials Characterization (MMC)
Fabricant et modèle : Microscope électronique à balayage (MEB) Hitachi SU3500
Site web externe : McGill
Personne ressource : Philippe Ouzilleau
Fait partie du RQMÉM : non
Adresse : Pavillon M.H. Wong, 3610, rue University, Montréal, QC H3A 0C5
Cartographie 3D quantititative de la surface d’un spécimen, incluant les surfaces complexes
Résolution : 3 nm à 30 kV, 7 nm à 3kV
Détecteurs, caméras et spectromètres :
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Électrons secondaires (SE), électrons rétrodiffusés (BSE), spectroscopie de rayons X à dispersion d’énergie (EDX), diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD).
Caractéristiques :
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Équipé d’un mode à pression variable (VPSEM) allant de 6 à 650 Pa.
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Fonction d’image stéréoscopique.
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Objectif à faible aberration et fonction de polarisation améliorée pour obtenir un courant d’émission plus élevé à faible tension d’accélération (kV).
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Excellente clarté d’image (S/N) à basses tensions d’accélération.
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Lentille condensatrice robuste qui réduit les déviations du champ de vision ou de la mise au point lors des ajustements de la tension d’accélération et du courant de sonde. Ces gains en efficacité d’imagerie simplifient le processus global d’optimisation d’imagerie.
Applications :
Microscope électronique à balayage pour la cartographie tridimensionnelle quantitative de la surface d’un spécimen, l’étude des surfaces complexes, la micro-détection des éléments et l’orientation des cristaux.