MEB Quattro

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Nœud :

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Polytechnique Montréal – Centre de caractérisation microscopique des matériaux (CM)2

Fabricant et modèle : Thermo Fisher Scientific Quattro S Microscope électronique à balayage

Site web externe : (CM)2

Personne ressource : Philippe Plamondon

Fait partie du RQMÉM : oui

Adresse : Pavillon Principal (A), 2900, boul. Édouard-Montpetit, Montréal, QC H3T 1J4

Résolution : 1.0 nm à 30 kV, 3,0 nm à 1kV

Détecteurs, caméras et spectromètres :

  • Détecteur d’électrons secondaires pouvant filtrer l’énergie des électrons collectés (EDS)

  • Platine chauffante et refroidissante

Caractéristiques

  • Tension d’accélération de 0.1 kV à 30 kV

  • Mode en pression variable (jusqu’à 400 Pa de vapeur d’eau ou d’azote)

  • Mode environnemental (jusqu’à 2600 Pa de vapeur d’eau ou 4000 Pa d’azote)

  • Possibilité d’appliquer une tension à l’échantillon afin de réduire l’énergie des électrons incidents

  • Système de déposition de platine et carbone par faisceau d’électrons (GIS)

Logiciels

  • AutoScript pour l’automatisation de l’opération du MEB

  • Maps pour l’acquisition de mosaïques

Applications :

Ce microscope extrêmement versatile peut observer tous les types d’échantillons.

La platine chauffante et refroidissante permet les expériences in situ. L’opération peut être automatisée et plusieurs paramètres sont surveillés (température, position de la platine, pression, etc.)

Tension d’accélération variable pour accommoder autant les échantillons sensibles au faisceau pour faire de l’imagerie de surface (basses tension d’accélération), que les échantillons conducteurs pour de la microscopie de haute résolution, pour de l’information de composition (haute tension d’accélération).

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