Nœud :
Fabricant et modèle : Hitachi NX-5000 (Ethos)
Site web externe : MEMRG
Personne ressource : Stéphanie Bessette
Fait partie du RQMÉM : oui
Résolution :
MEB : 1,5 nm à 1 kV, 0.7 nm à 15 kV
FIB : 4 nm à 30 kV, 60 nm à 2 kV
Détecteurs, caméras et spectromètres :
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Électrons secondaires et électrons rétrodiffusés dans l’objectif (SE(U), (BSE(U), BSE(L)
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Électrons secondaires dans la chambre (SE(L))
Caractéristiques :
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Colonne MEB à émission à froid (Cold-field emission)
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Source ionique de gallium liquide
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Système cryo Quorum (PP3010T)
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Courant de la sonde : 5 pA-10nA, maximum 100 nA en FIB
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Voltage d’accélération : de 0.1 à 30 kV
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Canon à ions Ar+ avec une énergie inférieure à 2 keV
Applications :
Imagerie nanométrique, production de lamelles pour MÉT, reconstruction 3D de la microstructure de matériaux, préparation de matériaux souples, finition de surfaces