Node :
Manufacturer and model : Hitachi NX-5000 (Ethos)
External website : MEMRG
Contact person : Stéphanie Bessette
Part of RQMÉM : yes
Address M.H. Wong Building, 3610, University Street, Montreal, QC H3A 0C5
Resolution :
SEM : 1.5 nm at 1 kV, 0.7 nm at 15 kV
FIB : 4 nm at 30 kV, 60 nm at 2 kV
Detectors, cameras and spectrometers :
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Secondary electrons and backscattered electrons in objective (SE(U), (BSE(U), BSE(L)
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Secondary electrons in chamber (SE(L))
Specifications :
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Cold-field SEM emission
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Liquid gallium ionic source
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Quorum cryo system (PP3010T)
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Courant de la sonde : 5 pA-10nA, maximum 100 nA en FIB
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Voltage d’accélération : de 0.1 à 30 kV
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Canon à ions Ar+ avec une énergie inférieure à 2 keV
Applications :
Imagerie nanométrique, production de lamelles pour MÉT, reconstruction 3D de la microstructure de matériaux, préparation de matériaux souples, finition de surfaces