FIB Helios 5 UX

Node :

Polytechnique Montréal – Centre de caractérisation microscopique des matériaux (CM)²

Manufacturer and model : Thermo Fisher Scientific FIB Helios 5 UX

External website : (CM)²

Contact person : Jean-Philippe Masse

Part of RQMÉM : yes

Address : Main building (A), 2900, Édouard-Montpetit Blvd, Montreal, QC H3T 1J4

Faisceau d’ions focalisés FIB pour préparation de lames minces

Resolution : 0.6 nm at 15 kV

Specifications :

• System for tungsten, platinium and carbon deposition, using an electron or ion beam (MultiChem)

• Equipped with a micro-manipulator to place the sample on the standard MET sample-holder

• Fully automated sample preparation methods

Applications :

Colonne de faisceau d’ions focalisés (FIB) rapide et facile pour la préparation d’échantillons et caractérisation en trois dimensions. Haute résolution simple et constante. Le double faisceau de Helios 5 UX incorpore les technologies nécessaires pour pour la microscopie électronique en transmission à balayage (STEM), la tomographie par sonde atomique (APT), la préparation d’échantillons ou la caractérisation 3D sous la surface. Adapté aux échantillons les plus difficiles à analyser.

Quick (ultra)thin preparation for TEM and SEM observation of high quality, sample preparation for micromecanical tests : HRDIC residual stress testing and mciromachining of various geometries. A final polishing with very low energy ions can minimise surface damage on the sample, giving high quality results.

Creating ultrathin lamellae for transmission electron microscopes with sub nanometer damage layers.

The most complete sample information with sharp, refined and charge-free constrat. Fast, accurate and precise milling and deposition of complex structures with critical dimensions of less than10 nm. Artefact free imaging.