Published on december 2, 2025
Le 16 octobre 2025 se déroulait l’inauguration de la plateforme de microscopie électronique du nœud de l’Université de Sherbrooke, au 3IT.Matériaux. Plusieurs membres du Réseau québécois de microscopie électronique des matériaux étaient présents à l’Institut Interdisciplinaire d’Innovation Technologique (3IT) pour le lancement officiel du microscope électronique à balayage à faisceau d’ondes focalisées (FIB) et du microscope électronique en transmission (MÉT).
These microscopes, made available because of the collaboration between different nodes of the network, the partner universities, the Canadian Foundation for Innovation (CFI) and the Ministère de l'Économie, de l'innovation et de l'énergie, are accessible to all members of the RQMEM to help research in advanced materials, train highly qualified students and professionals, et stimulate collaboration within the Network and the province of Quebec.
The present members, including node directors and node microscopists, assisted to a symbolistic chord cutting, directly from the transmission electron microscope.
The 3IT.Material platform benefited from a funding of millions of dollars to build 1 000 m2 of net laboratory surface, 300 m2 of office surface for the highly qualified personal and a new landing stage. Other than the room dedicated to the transmission electron microscope, a room for the FIB and a sample preparation room (cutting, polishing, electropolishing, light microscopy), some room is still available for future equipment for material characterisation.
The 3IT.Materials is now a pillar of microelectronics, nanotechnology, quantum and advanced materials, energy devices research, to name a few.
The microscopes inaugurated make many analysis possible in high resolution imagery, crystallographic analysis and elementar and chemical phase analysis.
Les équipements dans la plateforme de microscopie 3IT.Matériaux
Scanning electron microscope and focalised ion beam (SEM/FIB) permet l’observation de la morphologie de surface, la découpe au faisceau d’ions, la tomographie par découpe de plans en plus d’analyses chimique par EDS. Ce Scios 2 SEM-FIB de ThermoFisher est alimenté par un canon FEG Schottky. Ses détecteurs et spectromètres permettent l’analyse des électrons secondaires, électrons secondaires filtrés et électrons rétrodiffusés en plus de faire la spectroscopie de rayons-X pour une composition ou cartographie des matériaux. Cet appareil permet les micromanipulations telle la découpe à l’échelle de la microstructure ou l’observation sous une surface recouverte ou cachée. Il permet également la fabrication de lames minces transparentes aux électrons pour le MÉT-TEM.
The transmission electron microscope (TEM) quant à lui, peut être utilisé pour la visualisation des matériaux jusqu’à l’échelle atomique, pour la diffraction d’électrons et la cartographie chimique (par EDS ou EELS). Le Spectra 200 de ThermoFisher est muni d’un Canon Cold-FEG corrigé en aberration sphérique. Il permet d’atteindre une résolution aussi basse que 60 pm. The sample holder allows in situ analysis up to 1 atm or 1 000 oC en présence ou non d’un biais électronique imposé par des microélectrodes. Ce porte-échantillon permet donc des observations lors de l’évolution de la micro-nanostructure dans des conditions réactives.
Des images peuvent être observées grâce à la caméra 4K Falcon (en mode imagerie ou diffraction), quatre spectromètres EDX entourant l’échantillon, une caméra pour la spectroscopie en perte d’énergie des électrons (K2-GIF-Continuum EELS) et ses détecteurs en transmission segmenté permettant l’imagerie différentielle de contraste (sur fond clair, fond sombre, annulaire ou annulaire à grand angle).
For more information on the equipments available within the RQMEM, consult our instrumentation page. Plus d’information sur la manière d’accéder aux équipements est disponible dans notre rubrique sur l’accès aux microscopes du RQMÉM.